免费论文：纳米硅地膜力学个性有限元接洽

氢化纳米硅地膜以其特殊的光电个性不只在二极管，传感器，太阳能干电池等器件上有着宏大的运用远景，并且在微电子板滞体例（MEMS）中也获得了洪量的运用。氢化纳米硅地膜在百般MEMS器件中会遭到各别的荷载效率，就会对器件的宁静性和寿命爆发感化。若使得器件赢得真实的宁静性，接洽氢化纳米硅地膜对荷载的相应就变成必定。沿用纳米压痕本领对氢化纳米硅地膜的力学个性的试验尝试接洽仍旧博得发达。但是，因为压痕考查在表面和操纵上的控制，不许实足赢得地膜对荷载相应的一切消息。跟着有限元本领的兴盛，老练的有限元计划软硬件为实行模仿试验进程供给了强有力的本领。正文应用有限元步调ABAQUS/Standard，创造纳米压痕的有限元模子，并对模仿截止举行了领会与计划，对于普遍地膜基底体例，不妨得出以次论断。 地膜的厚薄与压痕深度之间的比较联系对试验的截止有着很大的感化。地膜厚薄越小，那么压痕深度就必需很小，当压入深度胜过地膜厚薄的一半时，基底的感化就会特殊鲜明。在各别厚薄的地膜长进行的同一压痕深度的模仿截止也表领会地膜压痕的深度在确定范畴内本领更透彻地质测量得地膜的个性。地膜和基底的弹性模量之间的联系也确定着压痕截止的灵验性。地膜和基底弹性模量的总值越大，膜基体制内限制的剩余应力就越大，生存剩余应力的范畴也夸大。普遍来说，压痕深度越大，卸载后的剩余深度也就越大。压入深度沟通时，地膜厚薄越大，剩余深度就愈小；弹性模量越大，地膜和基底的弹性模量越大，剩余深度也相映地增大。实足撤消压针荷载后，地膜的上外表展示了积聚局面。在压痕进程的卸载阶段，基底回复弹性形变时对地膜爆发效率，而压针下的地膜爆发不行回复的塑性形变，及至于地膜上外表展示积聚。结果创造了纳米硅地膜力学个性的有限元模仿模子，并把模仿截止与试验截止举行比拟。经过比拟得出，氢化纳米硅地膜的弹性模量为45GPa、降服应力为4.5MPa、泊松比为0.3是比拟符合的，并阴谋出其硬度为2.5GPa。

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