免费论文摘要：地膜电极的优化安排及其在热电器件中的运用

与保守的火力发电和制冷本领比拟，热电器件具备真实性高，无传染，无可挪动模块等便宜。对一个热电地膜器件来说，感化其本能的要害重要有资料的ZT值，以及器件的电阻和热阻。在往日十有年里，资料的ZT值仍旧获得了很大普及，而且在将来很有年里大概很难再有较大的冲破了，此时，交战电阻与交战热阻是规范微型地膜器件本能的瓶颈。电极动作器件的一个要害构成局部，它的构造与本能将径直感化到所有器件的交战电阻和交战热阻。所以，即使能制备出高电导率，高热导率，高宁静性的电极将使地膜器件的本能获得更大的提高，使之能本质运用。正文以制备高结协力、高电导率、高宁静性的硬质AlN基底Cu地膜电极为接洽东西，对准暂时电极资料与AlN基底结协力差，热电器件交战电阻及交战热阻较高的困难，经过引入新式共溅层，巩固地膜间的结协力，减小器件的交战电阻及交战热阻，革新器件的火力发电大概制冷本能。简直是沿用磁控溅射法，在AlN基底上制备了Cu地膜电极，经过安排溅射温度、溅射功夫、溅射气压等工艺参数，探究出最好的溅射参数，贬低电极的电阻。其余，经过双靶共溅射本领，引入Ti-Cu/Ti这种过度层，并贯串扫描电子显微镜图片，来优化电极资料与基底的界面，并运用纳米划痕尝试及寒热报复尝试来参观地膜电极的结协力和宁静性，结果胜利制备出具备高结协力，高导热性以及高宁静性的用来热电器件的地膜电极。同声，探究了退火温度对电极本能的感化，赢得了革新地膜电极电阻的最好退火温度。进一步将此电极运用于热电制冷器件中，创造了面外型热电地膜制冷器件，接洽了器件中各地膜间的界面情景，并丈量了器件的电阻，使之与鉴于普遍电极创造的器件举行比较。咱们创造，制备高电导率，高热导率，高宁静性电极本领的引入，能灵验贬低器件的电阻，而且表面上也能贬低器件的交战热阻，这为普及地膜型热电器件的本能奠定了普通，并对本来际运用供给了保护。

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