免费论文摘要：晶硅干电池外表氧化铁钝化的接洽

摘    要 本舆论接洽了晶硅太阳能干电池外表氧化铁钝化。在舆论中，以硅片的少子寿命为钝化功效的表征本领，经过正交考查的本领，找到了运用亚原子层堆积法成长氧化铁地膜的较为优化的工艺前提。考查表白，氧化铁地膜的厚薄为15nm时不妨赢得较好的钝化功效，在15nm的氧化铁上叠加160nm的氮化硅之后钝化功效有明显提高。经过考查估测计算出氧化铁的成长速度为0.12nm/次。为领会决成长钝化地膜之后串联电阻偏大的题目，本舆论运用了激光开孔的本领。考查表白，运用线开孔的办法，在线宽40μm，线间距900μm的前提下不妨赢得较好的干电池功效。本舆论还计划了各道岁序对硅片品质的感化，钝化地膜反射率对钝化功效的感化。比较了各别本领和各别的反馈气机制备的氧化铁的钝化功效。

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