免费论文：谐振式硅微板滞加速率计的接洽与实行

微板滞加速率计在军事与民用范围有要害的运用价格。谐振凋零板滞加速率计经过检验和测定板滞谐振器谐振频次的变革实行加速率的丈量，径直输入频次旗号，具备宁静性好、反复性好、精巧度高、精度高的特性。舆论接洽了静电激振、库容拾振的谐振凋零板滞加速率计的安排表面、构造优化、工艺实行和样件尝试，接洽工抵制谐振凋零板滞加快计的安排及实行具备要害的表面引导意旨和运用价格。舆论的接洽处事重要囊括以次实质：创造了谐振梁固有频次与加速率的联系式；领会了剪切变形、转化惯量、振荡幅值对谐振梁固有频次的感化；运用Duffing体例表面领会了加速率计的非线性局面和特性；给出了拾振输入与激振输出的幅值、相位联系式。深刻的表面领会为谐振凋零板滞加速率计的构造安排和尝试供给了参考。微杠杆组织是普及谐振凋零板滞加速率计精巧度的灵验办法，提出了一种刚度解耦的微杠杆夸大组织，创造了微杠杆组织的模子，用有限元本领举行了考证，运用遗传算法优化结束构参数。以高精巧度、高辨别力为目的，提出了一种别致的谐振凋零板滞加速率计构造计划，沿用了框架式品质块、高Q值音叉谐振器、刚度解耦的微杠杆组织和差动丈量构造。运用领会法和有限元法对构造举行了优化安排和本能领会。仿真截止表白，安排的构造不妨实行较高精度丈量。鉴于ICP刻蚀和硅/玻璃静电键合的体硅加工工艺，安排了适用的工艺过程和工艺幅员，实行了大表面积、大厚薄、高超宽比的构造。工艺的安排与实行为微板滞器件的创造供给了有意旨的试验体味引导。安排了鉴于面外振荡丈量仪的加速率计光学尝试体例，样件的尝试截止和安排计划符合，领会了两者缺点爆发的因为。

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