免费论文：磁过滤负极弧法治备类金刚石膜

类金刚石（Diamond-like carbon, DLC）地膜具备高硬度、低冲突系数、高化学宁静性和高耐磨性等崇高本能，有普遍的运用远景。然而，高硬度的DLC地膜内生存很高的内应力，控制了地膜的厚薄和运用范畴。正文鉴于普及类金刚石地膜的硬度，革新类金刚石地膜与基体的贯串本能的手段，沿用磁过滤负极弧堆积体例在高速钢基体上堆积了DLC膜，接洽了基体负偏压和过度层对DLC膜本能的感化；沿用纳米压痕仪、Raman光谱仪、洛氏硬度仪和光学显微镜领会了DLC地膜的硬度和弹性模量、键构造和膜基贯串本能。重要接洽截止如次：开始，经过对弯管磁过滤器的矫正，地膜外表的大颗粒的数目鲜明缩小，然而地膜的堆积速度会贬低（从880nm/h到480nm/h）。沿用法拉第杯丈量了碳离子在弯管出口处的能量散布，截止表白，散布弧线为高斯散布，离子能量重要会合在20eV到30eV之间。用朗缪尔探针丈量了磁过滤弯管进口和出口处的离子密度辨别为1.71×1014m-1和0.85×1014m-1，计划获得等离子体体在弯管磁过滤器中的传输功效为49.7%。各别工艺参数对膜层硬度、构造和贯串本能的感化接洽截止表白，变换脉冲偏压巨细（0V~115V）和占空比（30%，50%和70%），DLC地膜的硬度在偏压为-75V，占空比为70%时，纳米硬度到达最高（31.86 GPa），Id/Ig最小（0.248），sp3含量最高，但贯串本能最差。变换过度层的因素（Ti，Cr和CrC），当过度层因素为CrC时，DLC地膜的硬度最高（46.12GPa）；当过度层为Cr时，地膜的贯串本能最佳；跟着地膜厚薄的减少，DLC地膜的膜基贯串本能变差。

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